空气过滤器在半导体生产工业中的重要性

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　　当今的空气过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，你想要多干净都可以达到。

　　当芯片上的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，在线宽小于0.5μm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。

　　半导体过滤器工艺并不是特别的复杂，说透了，其实就是活性炭空气过滤器，但传统的活性炭空气过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车，芯片厂的活性炭空气过滤器大都是空调过滤器的生产厂家提供的。

　　化学污染物的来源可能是：室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下，工程师和现场的工作人员也说不清楚污染物的种类和浓度，因此，为他们提供的活性炭空气过滤器至少应具备有两个特点：

　　1、广谱吸附性能；

　　2、有足够多的活性炭材料。

　　所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些，能有这种功能的材料就是最普通、最便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类，就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。空气过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定活性炭空气过滤器的使用情况，这就要求供应商中有休息化学过滤的专家，并与名气大的化学实验室有密切的关系。可惜的是，国内的空气过滤器厂商没有几家在那上面下功夫，所以国内芯片厂目前使用的活性炭空气过滤器大多数也都是进口产品。

　　半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”,它也有环境问题。那里经常采用最新的工艺和材料，有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了，一不小心就会造成严重的化学污染，既有地下水污染，也有空气污染。为了保险起见，有些企业会在排风系统中也使用活性炭空气过滤器。

　　中国正处在新一轮芯片厂建设的狂热中，为此，今后几年国内会需要大量的高效空气过滤器和活性炭空气过滤器。

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